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Sinton BCT-400少子壽命測量儀套件技術(shù)參數(shù)

更新時(shí)間:2021-11-25   點(diǎn)擊次數(shù):1557次

Sinton BCT-400少子壽命測量儀

 

BCT-400測量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。

 

Sinton BLS-I少子壽命測量儀

BLS-I測量系統(tǒng)用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊 體形無嚴(yán)格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體 內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)量的重要檢測項(xiàng)目。

 

Sinton BCT-400少子壽命測量儀

 

BCT-400測量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實(shí)現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強(qiáng)偏置實(shí)現(xiàn)單晶缺陷密度計(jì)算。

 

Sinton BLS-I少子壽命測量儀

BLS-I測量系統(tǒng)用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊 體形無嚴(yán)格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體 內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)量的重要檢測項(xiàng)目。

 


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